真空除氧器的重要组成部件：除氧器、高效旋膜装置、射水抽气器抽真空机组等。
除氧器内装设有高效旋膜装置，将自然降膜改为强力降膜，增加液膜的更新度，并造成液膜沿管壁强力旋转卷，增强分散、传质功能；将相向泡沸改为悬挂式泡沸。提高层中水汽流速高时泛点，并将保持汽体通道；将独立的三种传热传质方式缩化为一体，在一个单元的部件内完成。由于它具有很高的效率和某些特殊功能，突破了已有除氧器的技术性能。
水喷射真空泵机组中配用了长喉型射水抽气器，这种抽气器具有设计结构紧凑，比耗功率极低。并具有很高的抽吸效率，在同等条件下抽吸量为老式的一倍。非常低的噪声水平，没有振动，是真空除氧器抽真空专用设备。
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